Überwachung von Klimaparametern in Reinräumen
Überwachung von Klimaparametern in Reinräumen
Räume für kritische Prozesse, d.h. Reinräume sowie Mini-Environments, erfordern präzise Umweltüberwachungstechniken und -methoden, um konstant innerhalb der Spezifikationen zu arbeiten. Dabei geht es nicht nur um Spezifikationen oder Normen, sondern vor allem um die Qualität Ihrer Produkte, z. B. pharmazeutische Arzneimittel oder Halbleiterchips, sowie um Prozesse.
Weitere Anforderungen sind u.a. saubere Luft mit hoher Austauschrate, ausreichendem Druck, exakter Temperatur- und Feuchteregelung bei gleichbleibender Luftqualität. Luftfeuchtigkeit, Temperatur und Differenzdruck sind besonders schwierige Parameter, die in einer Reinraumumgebung gemessen werden müssen.
Diese Umgebungsmessungen müssen präzise und zuverlässig sein und mit kalibrierten Geräten durchgeführt werden, um die Qualität Ihrer Produkte und Prozesse zu gewährleisten.
Überwachung von Temperatur, Feuchtigkeit und Druck
Um die Spezifikationen zu erfüllen, sind in Reinräumen präzise Messungen erforderlich. Um die Bedingungen in Reinräumen konstant zu halten, ist eine genaue und langzeitstabile Messtechnik für die ständige Messung und Überwachung von Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Differenzdruck erforderlich.
Die für den Nachweis der Reinraumtauglichkeit erforderlichen messtechnischen Parameter sind in der DIN EN ISO 14644 beschrieben. Die kontinuierliche Überwachung von Temperatur, relativer Luftfeuchtigkeit und Differenzdruck hilft, die Produktqualität zu sichern und die Umgebungsbedingungen den Vorgaben entsprechend zu dokumentieren. Je nach Nutzung des Reinraums können zusätzliche oder andere relevante Spezifikationen gelten.
Prüfung von Temperatur und relativer Luftfeuchtigkeit
Lüftungsanlagen versorgen einen Reinraum mit den Temperatur- und Feuchtewerten, die den Anforderungen der jeweiligen Anwendung entsprechen. Gemäss DIN EN ISO 14644 -3 muss geprüft werden, ob der Reinraum die Spezifikationen erfüllt. Die Anforderungen an die dafür eingesetzten Prüfgeräte sind in DIN EN ISO 7726 – Ergonomie der thermischen Umgebung, Messgeräte für physikalische Größen – festgelegt. Diese Norm besagt, dass die zulässige Messunsicherheit für die relative Luftfeuchtigkeit +- 2% rF beträgt.
Der elektrolytisch-resistive Sensor bietet die genauste Messung und ist relativ resistent gegenüber volatilen Stoffen wie z.B. H2O2. Dank seinem Messprinzip erreicht er eine Messgenauigkeit von +/- 0,4% rF und ist somit z.B. deutlich präziser als Sensoren mit kapazitiver Messtechnik.
Da die relative Feuchte auch stark von der Temperatur beeinflusst wird, ist es wichtig, dass diese möglichst genau gemessen wird. Aufgrund fehlender Hysterese verfügen elektrolytisch-resistive Sensoren ausserdem über eine bessere Langzeitstabilität und reagieren schneller.
Unsere Messgeräte zur Überwachung von Klimaparametern in Reinräumen
nSens MOBILE Set
Industriering Ost 66
DE-47906 Kempen
Tel:+49 2152 95 99 701
Fax: +49 2152 95 99 702
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